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蒸發(fā)濺射儀-招標(biāo)公告

蒸發(fā)濺射儀-招標(biāo)公告
(招標(biāo)編號:0779-21400316A006)

招標(biāo)項(xiàng)目所在地區(qū):0779-21400316A006),已由項(xiàng)目審批/核準(zhǔn)/備案機(jī)關(guān)批準(zhǔn),項(xiàng)目資金來源為/, 本項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件,現(xiàn)進(jìn)行公開招標(biāo)。

二、項(xiàng)目概況和招標(biāo)范圍

項(xiàng)目規(guī)模:/ 。

招標(biāo)內(nèi)容與范圍:本招標(biāo)項(xiàng)目劃分為標(biāo)段1 個標(biāo)段,本次招標(biāo)為其中的:

001 第1包

三、投標(biāo)人資格要求

001 第1包:

1 投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格,提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。
2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。
3本次招標(biāo)要求所投產(chǎn)品制造商2018年至今簽訂不少于2臺(套)磁控濺射系統(tǒng)或電子束蒸鍍系統(tǒng)供貨業(yè)績合同,提供合同復(fù)印件。
4 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
5 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

本項(xiàng)目不允許聯(lián)合體投標(biāo)。

四、招標(biāo)文件的獲取

獲取時(shí)間:2021年03月05日09時(shí)00分00秒---2021年03月12日17時(shí)00分00秒

五、投標(biāo)文件的遞交

遞交截止時(shí)間:2021年03月29日14時(shí)00分00秒

六、開標(biāo)時(shí)間及地點(diǎn)

開標(biāo)時(shí)間:2021年03月29日14時(shí)00分00秒

開標(biāo)地點(diǎn)及方式:/

七、其他公告內(nèi)容

蒸發(fā)濺射儀項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金來源自籌資金。中科信工程咨詢(北京) (招標(biāo)代理機(jī)構(gòu))受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所(招標(biāo)人)的委托,對項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物

1.2 招標(biāo)編號:0779-21400316A006

1.3 設(shè)備技術(shù)性能:

1.3.1進(jìn)樣室

1)進(jìn)樣室可放置5片直徑150mm的樣品,并可放置5個樣片支架;腔室前開門,易于裝載樣片;

2)帶有樣品傳輸裝置,雙側(cè)線性傳輸臂,手動控制模式,熟練程度下,樣片從放入進(jìn)樣室到傳入鍍膜主腔室的時(shí)間間隔不超過10分鐘。

1.3.2磁控濺射

1)主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥;在潔凈、干燥環(huán)境下,真空度需≤5×10E-7 Torr

2)系統(tǒng)需配備23英寸磁控濺射靶槍,濺射靶槍可靈活調(diào)節(jié),根據(jù)用戶需求,可調(diào)節(jié)靶槍角度和最佳蒸鍍距離,以達(dá)到最佳蒸鍍效果。暗區(qū)屏蔽裝置高度低于靶材表面,減少對輝光區(qū)域的束縛,并降低靶材之外材料被同時(shí)濺射出來的幾率,靶材為卡箍式固定方式,方便更換和固定,配有緊湊式圓頂蓋濺射源擋板NdFeB磁陣組合。

3)系統(tǒng)需配備13英寸磁性增強(qiáng)靶,升級版NdFeB磁陣組合,能夠沉積高達(dá)0.125英寸厚度的材料,支持非磁性材料和磁性材料工作模式的切換。

1.3.3電子束蒸發(fā)

1)系統(tǒng)需配備國際一流品牌機(jī)械干泵,風(fēng)冷,無接觸式,氣體抽速不小于21cfm

2)系統(tǒng)需配備冷凝泵,抽速不小于1500l/s,可通過設(shè)備程序遠(yuǎn)程控制冷凝泵的自動再生,從室溫降溫到工作溫度時(shí)間不超過3小時(shí)。配備8200型氦氣壓縮機(jī),10英尺長氦管;

3)主泵與腔室之間帶有VAT高真空閥;在潔凈、干燥環(huán)境下,真空度需≤9×10E-8 Torr。

1.4 數(shù)量:1臺(套)。

1.5 交貨期:合同簽訂后11個月內(nèi)交貨。

1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場:中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格,提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。

2.3本次招標(biāo)要求所投產(chǎn)品制造商2018年至今簽訂不少于2臺(套)磁控濺射系統(tǒng)或電子束蒸鍍系統(tǒng)供貨業(yè)績合同,提供合同復(fù)印件。

2.4 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.5 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1 支付成功后在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)自行下載招標(biāo)文件。

3.3 投標(biāo)人必須在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)注冊,辦理CA數(shù)字證書與電子簽章,否則無法投標(biāo)。(詳見航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)相關(guān)說明)。

4. 投標(biāo)文件的遞交

4.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間(投標(biāo)截止時(shí)間,下同)為2021032914時(shí)00分,投標(biāo)人必須在此時(shí)間前將加密的電子版投標(biāo)文件傳至航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標(biāo)專區(qū)( /rest/index)并在此時(shí)間前現(xiàn)場遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件。

4.2 紙質(zhì)版投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)為 大樓一層會議室。逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件,招標(biāo)人將予以拒收。

5

備注:非正式會員請聯(lián)系辦理會員入網(wǎng)注冊事宜,并繳費(fèi)成為正式會員后登錄網(wǎng)站會員區(qū)可查看招標(biāo)公告、招名方式或下載報(bào)名表格等詳細(xì)內(nèi)容!為保證您能夠順利投標(biāo),具體要求及購買標(biāo)書操作流程按公告詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)。

咨詢聯(lián)系人:李工
咨詢電話:010-51957458
傳真:010-51957412
手機(jī):13683233285
QQ:1211306049
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郵箱:1211306049@qq.com
來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)?編輯:365trade.co

 
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