上海市機械設備成套(集團) 對下列產(chǎn)品及服務進行國際公開競爭性招標,于2023-11-22在 公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式,現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:復旦大學擬采購高均勻性分子層沉積設備采購資金到位或資金來源落實情況:現(xiàn)招標人資金來源已落實項目已具備招標條件的說明:具備了招標條件2、招標內(nèi)容招標項目編號:1639-234122240497招標項目名稱:復旦大學高均勻性分子層沉積設備采購項目實施地點:中國上海市招標產(chǎn)品列表(主要設備):
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業(yè)績:1)來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)(以下簡稱“合格來源國/地區(qū)”)的法人或其他組織;1) The legal persons or other organizations invited from within the People’s Republic of China (hereinafter abb. as "PRC") and all countries/areas which have regular trade relations with PRC (hereinafter called “the eligible source countries/areas”)2)投標人應為投標產(chǎn)品的制造商或其合法代理商,代理商投標應提供投標產(chǎn)品的制造商針對本項目的正式授權;2)The bidder shall be the manufacturer of the bidding products ,the agent tender must provide the cast product exclusive authorization letter issued by the producer for the project subject to tender; 3) 投標人提供的投標機型應是原產(chǎn)地的全新產(chǎn)品;3) Provide bidders bidding models should be the origin of new products;是否接受聯(lián)合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
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項目 聯(lián)系人:李楊
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序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術規(guī)格 | 備注 |
1 | 高均勻性分子層沉積設備 | 1 | 第一套高均勻性分子層沉積設備,主要用于沉積High-K薄膜材料:Al2O3、HfO2等,沉積工藝的反應腔體最高加熱溫度≥350℃;第二套高均勻性分子層沉積設備,主要用于沉積導電薄膜材料:TiN等,沉積工藝的反應腔體最高加熱溫度≥500℃。反應腔的溫度控制精度≤±2℃。 |
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