中國(guó)儀器進(jìn)出口集團(tuán) 對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2024-04-30在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱：離子束刻蝕機(jī)設(shè)備數(shù)量：1臺(tái)設(shè)備用途：主要用于8英寸MEMS工藝中的金屬膜層（Au、Ti）的刻蝕加工。資金到位或資金來源落實(shí)情況:資金已到位項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0709-244035614023招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之離子束刻蝕機(jī)項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格	備注
1	離子束刻蝕機(jī)	1套	*刻蝕工藝腔 要求腔室內(nèi)部安裝有易拆卸替換的專用內(nèi)襯板、柵網(wǎng)、觀察窗、石英放電腔等，可實(shí)現(xiàn)設(shè)備真空腔室的快速清理和維護(hù)，要求設(shè)備配備兩套內(nèi)襯板，兩套柵網(wǎng)，兩套石英放電腔、兩套觀察窗、兩套中和器，一套在用，一套備用；工藝腔室為模塊化平臺(tái)構(gòu)造，包含氣體氣路、腔室本體、ESC下電極、電源分配模塊接口、傳送腔體接口等；對(duì)于刻蝕窗口暴露面積超過10%的晶圓，具備終點(diǎn)檢測(cè)抓取能力。 對(duì)于厚度300μm～1100μm的8英寸晶圓片，金（Au）薄膜刻蝕應(yīng)滿足以下指標(biāo)： *（1）金（Au）刻蝕速率≥800？/min；

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):（1）投標(biāo)人是響應(yīng)招標(biāo)、已在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件并參加投標(biāo)競(jìng)爭(zhēng)的法人或其他組織。任何未在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件的法人或其他組織均不得參加投標(biāo)。（2）凡是來自中華人民共和國(guó)或是與中華人民共和國(guó)有正常貿(mào)易往來的國(guó)家或地區(qū)的法人或其他組織均可投標(biāo)。（3）與招標(biāo)人存在利害關(guān)系可能影響招標(biāo)公正性的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。（4）接參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加一家代理商參與本項(xiàng)目投標(biāo)。同一品牌的制造商和代理商不能同時(shí)參加本項(xiàng)目的投標(biāo)。（11）投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書；并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。（12）投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備再制造廠商，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書；并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。要求2020年至今同類型設(shè)備出貨量與驗(yàn)收數(shù)量大于10臺(tái)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備與再制造廠商提供合同和驗(yàn)收材料，進(jìn)口全新設(shè)備出具蓋章的業(yè)績(jī)說明材料。（13）試樣要求：招標(biāo)人有權(quán)利依次對(duì)滿足標(biāo)書要求的設(shè)備進(jìn)行樣品試制，試制樣品須滿足本標(biāo)書第三條（主要技術(shù)指標(biāo)）中樣品試制要求。招標(biāo)方提供樣片給投標(biāo)方，投標(biāo)方使用參與投標(biāo)的同型號(hào)設(shè)備，測(cè)試過程由招標(biāo)方進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)督，招標(biāo)方按照試制樣品驗(yàn)收指標(biāo)要求進(jìn)行工藝測(cè)試，測(cè)試完成后提交招標(biāo)方檢測(cè)評(píng)估，檢測(cè)評(píng)估合格，投標(biāo)方才具備投標(biāo)資格。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.alertpay.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說明下載投標(biāo)文件！

項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊  
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