項(xiàng)目編號(hào) : 0762-2440CBNB2033（CBNB-20242532）
公布日期 : 2024-10-24
受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2024年10月24日在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1. 招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況：甬江實(shí)驗(yàn)室因發(fā)展需要，需采購半自動(dòng)槽式SPM清洗機(jī)、半自動(dòng)槽式有機(jī)清洗設(shè)備、手動(dòng)片盒清洗機(jī)、半自動(dòng)槽式KOH刻蝕機(jī)、半自動(dòng)槽式BOE刻蝕機(jī)各1套。
資金到位或資金來源落實(shí)情況：項(xiàng)目所需資金已經(jīng)落實(shí)。
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明：項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。
2. 招標(biāo)內(nèi)容：
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào)：0762-2440CBNB2033
招標(biāo)項(xiàng)目名稱：甬江實(shí)驗(yàn)室采購半自動(dòng)槽式SPM清洗機(jī)等五項(xiàng)設(shè)備項(xiàng)目
項(xiàng)目實(shí)施
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2
半自動(dòng)槽式有機(jī)清洗設(shè)備
1套
主要用于金屬刻蝕或其他器件干法刻蝕后光刻膠的去除或清洗工藝。
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3
手動(dòng)片盒清洗機(jī)
1套
對所使用的晶圓片盒進(jìn)行定期清洗。
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4
半自動(dòng)槽式KOH刻蝕機(jī)
1套
常用于硅片表面V型槽刻蝕、金字塔或者倒金字塔結(jié)構(gòu)刻蝕等應(yīng)用。
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5
半自動(dòng)槽式BOE刻蝕機(jī)
1套
主要用于半導(dǎo)體器件制造過程中的SiO2 濕法刻蝕以及清洗工藝。
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*備注：投標(biāo)人必須對表中所有貨物進(jìn)行投標(biāo)，否則作無效標(biāo)處理。
3. 投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績：投標(biāo)人必須是投標(biāo)產(chǎn)品（半自動(dòng)槽式SPM清洗機(jī)、半自動(dòng)槽式有機(jī)清洗設(shè)備、手動(dòng)片盒清洗機(jī)、半自動(dòng)槽式KOH刻蝕機(jī)、半自動(dòng)槽式BOE刻蝕機(jī)）的制造商或投標(biāo)產(chǎn)品的制造商授權(quán)的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項(xiàng)目的授權(quán)書；
是否接受聯(lián)合體投標(biāo)：不接受；
未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo)：不可以。
4.
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