招標公告

1. 招標條件

本招標項目側(cè)墻刻蝕機 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對側(cè)墻刻蝕機進行國內(nèi)公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20240429A049

2.2 招標項目名稱：側(cè)墻刻蝕機。

2.3 數(shù)量：1臺。

2.4 主要功能要求：半導體制造工藝中，側(cè)墻刻蝕是形成LDD結(jié)構(gòu)必不可少的一個環(huán)節(jié)。側(cè)墻結(jié)構(gòu)一般為OX或者OX與SiN的復合膜結(jié)構(gòu)，為介質(zhì)刻蝕工藝，側(cè)墻刻蝕機除了完成側(cè)墻刻蝕工藝以外，還可以用來進行通孔刻蝕，是半導體制造中必不可少的工序。本項目采購的側(cè)墻刻蝕機為8英寸全新國產(chǎn)設(shè)備、具備擴展SMIF和EAP通訊功能。

2.5 交貨

3. 投標人資格要求

3.1投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照。

3.2業(yè)績要求：投標人需提供本次投標同型號或同系列的設(shè)備從2020年至今的任意一年的銷售業(yè)績，且一年中累計銷售量至少5臺；須提供設(shè)備采購合同復印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁及簽字或蓋章頁、合同簽訂時間、合同標的物及其型號。

3.3 其它要求：本次招標不接受代理商投標。

3.4本次招標不接受聯(lián)合體投標。

3.5投標人必須向招標代理機構(gòu)

4.

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編輯：365trade